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共聚焦三維表麵形貌儀

共聚焦三維表麵形貌儀
共聚焦三維表麵形貌儀


參數說明

 

共聚焦三維表麵形貌儀


高頻碳硫分析儀廠家生產的共聚焦三維表麵形貌儀具有光學形貌上最高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調至0.05um,是表麵特征以及形貌的測量的最佳配置。

 


 

可 快速垂直掃描的旋轉盤共焦技術。

使用高數值孔徑 (0.95) 以及高倍數的 (150X) 3D全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (最大斜率<幹涉測量>: 72o vs 44o) 。

具有光學形貌上最高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調至0.05um,是表麵特征以及形貌的測量的最佳配置。

在測量表麵粗糙度/表麵反射率上無限製(0.1%- 100%)

 應用於透明層/薄膜。

兼容亮視野&暗視野; 光學DIC。

長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

獨有的穩定性。